分子式 GaAs
对应标准 其它
标签 半导体材料
说明 • GaAs单晶是Ⅲ-Ⅴ族化合物半导体单晶,它继硅之后的重要半导体材料,其晶体结构为闪锌矿型,晶格常数为5.6419 Å。在固态时,其密度为5.3 g/cm³,而在熔点时的液态密度为5.72 g/cm³。砷化镓(GaAs)熔点1238℃时离解压为0.097 MPa,在常压条件下能够生长出大尺寸的单晶。
• 目前,生长GaAs单晶的主要方法包括水平布里奇曼(HB)法和液封直拉(LEC)法。这两种方法均可制备重量超过10 kg、直径达100 mm(甚至更大)的晶体。水平布里奇曼法是目前生产GaAs单晶的主流技术,其优点是生长出的单晶位错密度较低,化学配比易于控制,且设备相对简单。然而,该方法无法直接生长出圆柱形单晶和非掺杂半绝缘单晶。相比之下,液封直拉法更适合生长非掺杂半绝缘单晶和圆柱形单晶,且生长速度较快,但其位错密度相对较高。
• 近年来,垂直梯度凝固(VGF)法因其能够制备出圆柱形、低缺陷密度的单晶而受到广泛关注。GaAs具有直接带隙结构,有卫星能谷,这使得其电子迁移率较高,且容易实现半绝缘特性。这些特性使得GaAs在光电器件、光电集成、微波器件以及超高速集成电路等领域具有重要应用价值。许多基于GaAs的器件,如发光二极管(LED)、激光二极管(LD)、金属半导体场效应晶体管(MESFET)、高电子迁移率晶体管(HEMT)和集成电路(IC)等,均已实现商业化生产。
• 此外,GaAs作为太阳能电池材料,具有比硅更高的光电转换效率和更强的抗辐射能力,因此被认为是一种极具潜力的空间能源材料。
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